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William威廉亚洲-太赫兹显微成像检测仪项目以优秀结果顺利通过综合绩效评价验收

  

1月6日，国家庞大科学仪器装备开发专项办结构召开了“太赫兹显微成像检测仪（2017YFF0106300）”项目综合绩效评价视频聚会会议。本项目由我院彭滟教授继续首席，由江苏北方湖光光电有限公司、中国电子科技团体公司41研究所、中科院上海微体系与信息技术研究所、中科院重庆绿色智能技术研究所、上海理工年夜学、聚光科技（杭州）株式会社及上海明垒实业有限公司结合肩负完成。

聚会会议由专项办专项主管刘进长研究员主持，项目牵头单元江苏北方William威廉亚洲-湖光光电有限公司董事长任益致辞。

专家组由北京节制工程研究所刘淑芬研究员任组长、中国科学院尹叶高级会计师任副组长，其他十一位相干领域顶尖专家组成。

专家组具体审查了评价资料，听取了项目卖力人的陈诉请示，不雅看了项目结果、产物演示录相片，经质询及会商，项目终极以91.8的高分经由历程综合绩效评价，属在庞大科学仪器考核中的“优异”级别（该项占比仅有15%）。

本项目重点解决半导体质料中原位缺陷检测问题以和生物细胞中微纳尺度下的物资身分及结构检测问题，针对于传统太赫兹体系空间分辩率有限的弊�。衫探幽缮⑸涫缴杞∠晕ⅲ╯-SNOM）方案，实现了20 nm高空间分辩率、高信噪比的显微成像、频谱检测及成份分析功效，形成为了拥有自立知识产权的天下产化工程样机。

项目终极取患上的指标包罗：体系空间分辩率 20nm；单点检测现实 7.5ms；检测频宽 3THz；技术就绪度到达8级。项目另有获得种种测试陈诉10份，申请专利26项，软件著作权5项,企业尺度2项，发表学术论文51篇。于2家单元举行试用并形成反馈定见；开发的太赫兹显微成像检测仪产物，至结题时发卖3台。

专项办充实肯定了项目取患上的丰硕结果，希望项目团队以综合绩效评价为出发点，继续开展技术迭代和技术立异，连续做好项目工业化事情，促成我国太赫兹近场显微镜的设备水平及技术能力。

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